荷兰公司ASML生产的DUV和EUV光刻机几乎垄断了全球市场。此前ASML始终无法完成对中国的出口,近日ASML再次就光刻机向中国企业正式表态,称“非EUV光刻机对中企可以正常发货”。
未来国内企业将可以完成14nm/28nm及以上成熟工艺芯片的制造,ASML还公开表示,他们将尽一切所能向中国市场提供一切可以提供的技术,这也从侧面反映出,AMSL对中国市场上非常重视的。
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